Elenco dei parametri tecnici della macchina per rivestimento ottico multistrato

Modello

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Dimensione della stanza del rivestimento

1050 * 1250304 Acciaio inossidabile.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Dimensione della cavità rivestita

Supporto per gli apparecchi da terra 1680 mm, adatto al funzionamento dell'ingegneria umana.

Supporto per gli apparecchi da terra 1468 mm, adatto al funzionamento dell'ingegneria umana.

Supporto per gli apparecchi da terra 1510 mm, adatto al funzionamento dell'ingegneria umana.

1 tipo di lavoro singolo di tipo arco, in misura maggiore per soddisfare le esigenze dei clienti per l'uniformità. Ruota 5-30R/min, cambio di velocità in coda.

2 Piatto per il pezzo di tipo tre arco, la rotazione del pianeta, in misura maggiore per soddisfare le esigenze dei clienti sulla produzione. Ruota 5-30R/min, cambio di velocità in coda.

Funzione per utensili

Per quattro pezzi, l'angolo della staffa è regolabile in misura maggiore per soddisfare l'uniformità delle esigenze dei clienti. Ruota 5-30R/min, cambio di velocità in coda.

Arco Tipo singolo pezzo di lavoro, in misura maggiore per soddisfare le esigenze dei clienti per l'uniformità. Ruota 5-30R/min, cambio di velocità in coda.

Arco Tipo singolo pezzo di lavoro, in misura maggiore per soddisfare le esigenze dei clienti per l'uniformità. Ruota 5-30R/min, cambio di velocità in coda.

Sistema a vuoto

Unità: pompa di diffusione DIP-2000 (LAI BAO), Pompa radici ZJY-300 2X-70, pompa meccanica, manutenzione della pompa 2x-8. Tubo per 304 acciaio inossidabile.

Unità: pompa di diffusione KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 Pompa radici, pompa meccanica, manutenzione della pompa 2x-8.

Unità: pompa di diffusione KT-600 (Zhen Hua), Pompa radici ZJY-600 2X-70, pompa meccanica, manutenzione della pompa 2x-8.

Unità: pompa di diffusione KT-800 (Zhen Hua), Pompa radici ZJY-600 2X-70, pompa meccanica, manutenzione della pompa 2x-8.

UCCOVIMENTO ULTUITO: MEGLIO DI 4 X PA 10-4.

Configurazione di apparecchiature anti -turbolenza, progettazione di interblocco di sicurezza, manuale, opzionale automatico.

sistema di riscaldamento

Tubo di riscaldamento in modalità di riscaldamento, controllo PID, il più alto 350 C + 1,5.

Inflazione del gas

Strumento di controllo del flusso di massa del gas o valvola di ricarica di regolazione fine manuale.

Bombardamento di ionizzazione del vuoto

DC 3KV, catodo a canna 06KW (per il rivestimento prima dell'auto -pulizia del pezzo).

Fonte di evaporazione (opzionale)

1 Gun di elettrone Telemark-270 (importazione), 6KW, regolabile 4KV-10KV ad alta pressione. Scansione, scansione, scansione circolare e scansione a spirale. Il focus del punto del raggio è buono, l'accuratezza del posizionamento è elevata e la riproducibilità è buona.

2 pistola elettronica domestica (Zhen Hua): 6KW, ad alta pressione 4 kV ~ 8kV regolabile, può scegliere liberamente l'onda a triangolo, onda sinusoidale, scansione delle onde quadrate.

3: Crucible a sei fori PHI 38 * 20 o quattro fori crogioli PHI 38 * 20 più un arco ad arco centrale a 87 punti crogiolo (per una grande quantità di materiali di evaporazione a basso punto di fusione) o quattro punti con 48 x 18 crogioli.

Fonte ionica (opzionale)

1 sorgente ionica RF (radiofrequenza) (importazione).

2 La sorgente di ioni Holzer 5KVA (Zhen Huachan), utilizzata per l'elettroplatura prima del processo di pulizia o placcatura per aiutare la placcatura, favorisce per migliorare l'indice di rifrazione del film, fermezza, migliorare la densità del film, l'adesione.

Sistema di controllo dello spessore del film (selezione)

1.MDC-360 Il dispositivo di controllo del cristallo (importato) può archiviare 1 ~ 99 processo di rivestimento automatico a livello, 99 tipi di dati del programma, precisione 0,5%+1 errore fisso. 2Telemark-880 Crystal Control Device (importato): può archiviare da 1 a 99 livelli di processo di rivestimento automatico, 99 tipi di dati del programma. Precisione 0,5%+1 Errore fisso.

3.TeleMark-820 Photocontroller (importazione): fine dello spettro completo utilizzando una tecnologia di analisi a lunghezza d'onda multipla, attraverso la trasmissione del monitoraggio dell'analisi della curva di 370-870 mm (o riflettanza) per determinare la fine del film. La precisione di controllo è elevata e è possibile utilizzare il controllo della lunghezza a singola onda, il controllo automatico e il controllo manuale. Ulteriore software di calcolo del sistema di membrana Macileod, alto grado di integrazione.

4.TeleMark-820 Controller di luce con controller Telemark-880 può soddisfare il film di cristallo con elevata precisione e elevati requisiti di ripetibilità. Con il computer host può realizzare il controllo automatico.

5 fotocontrollore domestico (come tipo 9704 che supporta la lunghezza d'onda monocromatore 330 ~ 870 ecc.) Regolabile, la precisione può raggiungere 1,5 nm.

Dispositivo a mano

Con la base magnetica, può essere posizionata nella posizione arbitraria della porta della camera del vuoto e dell'armadio di controllo.